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麦克项目案例 | 麦克传感为压阻真空计提供精准压力监测

作者 : 麦克传感器股份有限公司 柏浩、徐磊

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什么是真空计?

真空计,又称规,一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压测量仪器。主要应用于真空环境真空度的测量领域,如真空镀膜、太阳能集热管制作、真空冶炼等。

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扩散硅压阻真空计作为真空计中应用较多的一类设备,其工作原理就是通过内部的压力传感器进行信号调理后,由高精度数字采集系统采集、分析,直接输出数字信号,这样可以直接显示出被测真空环境的真空度。

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扩散硅压阻真空计通常应用在半导体行业、真空镀膜等领域,因此作为主要测量部件的压力传感器也需要适应不同领域的测量环境,这就需要压力传感器需要满足测量稳定、精度高、耐腐蚀、耐高压等要求。

麦克传感提供MPM281压力传感器助力扩散硅压阻真空计精准监测,完美应对不同应用环境下的严苛挑战。

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麦克传感MPM281型高稳压力传感器芯体

● 测量范围:0kPa ~ 7kPa…100MPa;

● 具有表压、绝压和密封表压形式;

● 恒流、恒压供电可选;

● 硅油、氟碳油等可选充灌液,适用于多种流体介质;

● Φ19mm 标准 OEM 压力敏感元件;

● 全不锈钢 316L 材质,更耐腐蚀;

● 宽温度补偿范围 -10℃~ 80℃;

● 长期稳定性可达 ±0.1%FS/ 年,测量更加稳定。

未来,麦克传感将继续深耕真空测量领域,为其提供更多专业的测量产品与定制化解决方案。

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